2000年6月12日，國家科技部組織黔琢，“96-748sensor技術研究”國家重點科技攻關計劃項目驗收阀恳。與會專家聽取了項目實施小組”項目實施情況自我評估報告”，“96-748sensor技術研究”寻癌，經過3年的研究已成功地完成了國家重點工程的目標薇榨，評價的目標和研究內容。項目總investment66423700元資金绪封，國家撥款25000000元魏颠。科技投入人員468人左右历扭。通過3年的研究软苗，共有內建測試生產線12條，其中工程任務完成的試生產線9條棺氢，新產品開發(fā)項目完成的試生產線3條心爷，making18品種75個規(guī)格的新產品，形成一定規(guī)模的中試生產肃续；通過開發(fā)新產品黍檩，發(fā)展。力傳感器痹升，磁傳感器建炫，溫度傳感器，壓力變送器疼蛾，濕度的敏感性5186種規(guī)格的新產品肛跌，90%項成果被大眾或小批量生產，供應市場察郁。傳感器關鍵共性技術衍慎，包括計算機輔助設計技術，關鍵技術，微機電系統(tǒng)技術稳捆，可靠性技術應用于生產赠法，研究產品的良率普遍提高10%以上，提高可靠性水平of1-2等級乔夯，建立傳感器實驗室猴宾，測試方式；據(jù)不*統(tǒng)計醇疮，research3年累計銷售各類傳感器約12600000漆埋，實現(xiàn)銷售收入144180000元，achieve59科學研究成果巴移，整個九十年代中期水平達到*水平您窒。獲得國家32項（其中獲得和受理發(fā)明11項），在國內外各類期刊上發(fā)表學術論文和研究報告244瞭驴，轉讓知識翻萨，取得較好的效果。
“九五”傳感器技術的指導思想是：目標是提高技術水平的可靠性水平傳感器退钱，和工業(yè)化程度俄蔗。2變化是提高企業(yè)技術進步變化的變化，提高*胰绢。三個組合的共性杰笛、關鍵技術和應用技術，加快產業(yè)化進程切省；典型的產品開發(fā)和產品系列組合；滿足市場需要帕胆；研究開發(fā)和成果的工程結合朝捆，實現(xiàn)適度規(guī)模生產。
通過研究懒豹，傳感器芙盘，關鍵制造技術的新產品開發(fā)，科技成果的工程方面的改善我們的傳感器技術水平脸秽，促進中國傳感器行業(yè)的形成儒老，縮小了與*水平的差距。
2技術记餐，擁有多項自主知識產權的結果
通過研究驮樊，創(chuàng)新技術，擁有多項自主知識產權的科技成就片酝，主要：
（1）本發(fā)明的復旦大學面具-無掩那粝危刻蝕過程的倡議。不僅在實驗上取得的脹形外觀[ 311 ]基本規(guī)律，理論推導出新的條件和新的底部练湿，底部的深度和位置的公式场时，建立了腐蝕技術制造微結構新技術。使用氫氧化鉀腐蝕溶液對不同晶體表面腐蝕速率的差異谴疾，在理論和技術解決用口罩强进，形成一個三維多層微機械結構技術，多層結構層差控制精度在4/米昭怕，轉移面平面度優(yōu)于1/商標袱族，接受一個發(fā)明。
（2）清華大學開發(fā)了一種基于石英諧振力和應變敏感性影響數(shù)字稱重傳感器磺则。研究的敏感元件的力敏特性玩困，諧振器可以在效應和共振頻率，諧振頻率和結構的關系牧俩，確保良好的頻率穩(wěn)定性脉鼻。研究開發(fā)了一種特殊的粘合劑，解決影響傳感器蠕變和磁滯特性的關鍵技術妨迈，提高傳感器的性能指標及產量度姑。在*個在國內和國外發(fā)展一系列的下游應用——各種石英電子衡器。has6實用新型呈枉，一項發(fā)明趁尼，受理發(fā)明4。
哈爾濱理工大學（3）成功開發(fā)了“新的內在的半導電聚合物壓力-溫度參數(shù)傳感器”猖辫，合成聚省醌自由基聚合物酥泞，這是一種壓力系數(shù)和溫度系數(shù)的高分子材料，材料表面處理技術解決了高溫傳感器油制成的威爾斯啃憎，潛水泵壓力和溫度測量的難題芝囤。經過檢索表明，新的內在的聚合物壓力-溫度參數(shù)傳感器的倡議辛萍，受理發(fā)明悯姊。
（4）沈陽儀器儀表工藝研究所中國*時間解決擴散硅力敏芯片溫度自補償技術。通過調整工藝參數(shù)平面摻雜工藝贩毕，實現(xiàn)了在-30-80c寬溫區(qū)悯许，*傳感芯片靈敏度溫度漂移控制在5%，實現(xiàn)了擴散硅力敏芯片的靈敏度溫度自補償辉阶。
（5）沈陽儀器儀表研究所技術開發(fā)高靈敏銻化銦薄膜的制備技術先壕，解決了高密度，高磁導率鐵氧體基片拋光技術痪僵，在蒸發(fā)過程中螃浑，銻元素，敏感層磨漿減薄過程和提高芯片的靈敏度的摻雜工藝，研制的銻化銦薄膜完滿足制備高性能的磁性組件需要诵城。獲得的發(fā)明和實用新型绪忙。
3發(fā)展，使一批市場急需的傳感器實現(xiàn)批量生產
“九五”國家科技市場急需的傳感器慷组，該傳感器新產品進行了研究和發(fā)展工程肘渔。通過國家支持，單位自籌溢棱，成果轉讓繁莲，技術入股等方式，建立了十二試驗生產線吩伊，使一批科技含量高的新型傳感器產品實現(xiàn)適度規(guī)模的中試生產拢胆，主要有：
（1）擴散硅壓力傳感器實現(xiàn)3kpa ~60 MPa各種品種和規(guī)格的生產，產品有：工業(yè)變送器壓力傳感器便螟，壓力傳感器的多功能智能變送器猛计，包裝和填充結構通用壓力傳感器。產品性能指標爆捞，包括短期穩(wěn)定奉瘤，長期穩(wěn)定，可靠性達到了國外同類產品的水平煮甥，開始批量供應市場盗温。可以說成肘，通過研究卖局，沈陽儀器儀表學會技術擴散硅傳感器制造技術已經成熟。并在國內實現(xiàn)了微機械加工技術双霍，批量生產各種型號的擴散硅壓力傳感器吼驶。
（2）石英諧振式稱重傳感器是在清華大學，并成功開發(fā)各種電子weighing1~15公斤店煞。投資16680000元，在深圳成立深圳清華傳感器設備有限公司风钻，承接批量試生產顷蟀，建成年產1000000石英諧振式稱重傳感器和2個00000電子衡器中試生產線，產品大部分出口國外缎选，2000only香港大哥大表示和已知成分為8美元的0000002000is預計將達到30000000元的銷售收入展管。獲得11patents發(fā)明和實用新型。
（3）華中科技大學研制成功的高壓力和低電壓系列4個品種的過載保護器否胜，并以技術入股的方式（25%）瓣老，在武漢武漢高新技術開發(fā)區(qū)成立湖北幫助傳感器公司，investment9800000元，建成年產20000000條生產線崇已，后完成的產值將達到50000000元素户挟。同時，科技公司在上海和0000000的中試生產贱起，產品主要用于程控交換機和電機過載保護中痴。
（4）中國科學院新疆物理研究所研制的小型及微型熱敏電阻的一致性，可靠性和性能價格比和韓國迫扫，日本的產品疮窟，在家電和糧食產業(yè)占有較大的*。新疆公司建造的小型和微型熱敏傳感器的中試生產線诬絮，1999sales卷00000鬼癣。
（5）霍爾銻化銦元件通過“八五”和“九五”科技攻關，解決芯片從生產到包裝等一系列關鍵技術啤贩，打破朝日化學公司技術壟斷待秃，實現(xiàn)了銻化銦霍爾組成部分的批量生產，產品的性能達到朝日公司化工產品水平瓜晤，并在沈陽儀器儀表工藝研究所與南京的微電子公司生產锥余，zui近南京的微電子公司將與中國臺灣公司合資，擴大規(guī)模痢掠，zui終建成年產100000000的生產能力驱犹。
（6）中科院合肥智能機械研究所，發(fā)展厚膜壓力傳感器足画，通過工程研究雄驹，在南京的微電子公司建成了年產50000thick薄膜壓力傳感器的中試生產線，壓力范圍為0.02~40 MPa淹辞，產品在工業(yè)控制領域的應用医舆。
（7）的ct-fe203gas傳感器及*報警器，信息部industry49and大慶泰科傳感器公司象缀，建成年產1000000條生產線彪饺，并通過了iso-9001quality體系認證。在家用電器和環(huán)保行業(yè)的應用促弯。
（8）在高溫壓力傳感器通冕，開發(fā)二氧化硅，多晶硅诲厚，碳化硅三高溫壓力傳感器创炉。硅壓阻式壓力傳感器的工作溫度范圍從-30to0.80擴大to22013for油井，高溫壓力測量蔽曙。在油田使用尺那，三種高溫壓力傳感器性能良好为巾，并遠銷國外。
（9）高溫硅霍爾綜合交換丹自，使硅集成霍爾開關的zui大操作溫度120 c增加到15013個彰朴，并在南京的微電子公司生產，每一個約100000的力量應用到車輛點火吹夏，良好的結果泽兼。
（10）與低功耗和低濃度的一氧化碳，撒謊弟孟，n02gas傳感器的研制成功贝咙，在環(huán)境保護領域具有廣闊的應用前景，長春應用化學研究所拂募，中國科學院的科技成果庭猩，已轉移到中國臺灣茂發(fā)科技公司，生產陈症。
4common和關鍵技術蔼水，提高了傳感器的行業(yè)的技術水平
“九義”狀態(tài)傳感器技術，關鍵技術录肯，主要解決了傳感器應用技術的關鍵技術趴腋，制造技術，微機電系統(tǒng)技術和可靠性技術研究论咏，并在傳感器生產中得到應用和推廣优炬。
（1）傳感器的計算機輔助設計技術應用研究擴散硅壓力傳感器，壓力傳感器厅贪，壓力傳感器蠢护，加速度傳感器的功能，霍爾磁傳感器和應變傳感器實現(xiàn)計算機輔助設計倚撰。從應力分析恃姨，布局設計，結構分析窝秤，設計圖紙的計算機宴今。設計結果在生產線已通過實驗驗證，總符合率reach80%幽州。力敏器件平面工藝進行計算機模擬辆雇，確定了在平面技術擴散，離子注入绪桑，氧化，擴散和其他制造過程計算機仿真程序飘具。該傳感器是提高設計水平和新產品開發(fā)能力猴试。
（2）“4擴散硅芯片生產技術的研究在國內實施擴散硅傳感器4“晶圓生產過程中鲁压，通過調整工藝參數(shù)，使硅壓阻傳感器靈敏度溫度漂移in30-80c總區(qū)的溫度控制在0.5%財政司司長粒惜，實現(xiàn)了靈敏度溫度漂移補償免費佣棠。研究業(yè)績的穩(wěn)定性參數(shù)通過傳感器，該傳感器100 h短期穩(wěn)定確保長期穩(wěn)定的of5ttv蜡镶，0.2%財政司司長雾袱，達到國外同類產品的先進水平。批量生產進行“硅壓阻硅芯片官还，管芯面積zui小的1.2倍1.2（毫米）芹橡，合格率85%。
（3）銻化銦薄膜技術解決使用中望伦，銻元素蒸發(fā)過程林说，磁性及非磁性基板代替銻化銦單晶沉積多晶薄膜生產技術，降低成本屯伞，提高成品率腿箩。同時采用選擇性濕蝕刻工藝，特別是insb-au歐姆接觸層的選擇性蝕刻工藝制造的電極劣摇。收益率超過60%珠移。銻化銦薄膜開發(fā)了3個品種規(guī)格的13insb霍爾元素，并批量生產末融。
（4）在一個新的氣體濕度超細粉的發(fā)展钧惧，通過研究，開發(fā)zr02-y20拙故，濕度敏感材料及固體電解質材料窃德，這些材料的應用，開發(fā)了400高溫濕度傳感器和一個平面內加熱二氧化碳氣體傳感器亮倍。
（5）化學腐蝕忆颇，電化學腐蝕，硅硅鍵合微加212/ 12藝術在傳感器生產中的應用纠惧。成功應用of10kpa -60 MPa傳感器的批量生產卿截，腐蝕的硅膜zui小厚度為10/商標，精度控制在10%赛虽。目前拨蓖，沈陽儀器儀表研究所技術擴散硅壓力傳感器的敏感膜片精密化學腐蝕，大型的靜電鍵合刺泌，硅鍵合工藝照旺。腐蝕和密封技術的產量達到75%。*次在中國的擴散硅壓力傳感器微機械加工的藝術生產男枝。
（6）通過傳感器完成可靠性技術研究酝浦，集成傳感器的壓力測試分衫，制定了全面的壓力測試技術規(guī)范，正溫度系數(shù)般此，熱敏電阻蚪战，擴散硅壓力傳感器的元素，霍爾可靠性試驗的時間從1年到2個月~铐懊，可靠性試驗技術的改進邀桑。通過可靠性增長技術的研究，使企業(yè)生產dl93科乎，sg75擴散硅壓力傳感器壁畸，石英諧振式稱重傳感器，熱敏電阻喜喂，熱敏電阻熱敏電阻元件瓤摧，-霍爾，a-fe203氣體傳感器玉吁，濕度傳感器照弥，廉價的可靠性指標提高1——2orders級。
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可以看出进副，“九五”傳感器技術壳晨，以市場需求為導向，經濟建設的需要遣抄，提高我國傳感器技術和產業(yè)化程度有了更大的成就意宝，對科技成果產業(yè)化的孵化作用，促進了我國傳感器庵臼，提高技術水平慎间，加快產業(yè)化的科學成果技術的過程中。
第二十一世紀揽邀，人類進入了電子信息時代粗啼。敏感元件與傳感器的關鍵部件為基礎的信息系統(tǒng)。微電子和微機械加工等先進制造技術的使用辙势，使傳感器技術的飛速發(fā)展蘸概。與傳統(tǒng)的傳感器相比，新一代的敏感元件與傳感器的突出特征是數(shù)字化羞媳，智能化悄济，陣列，微和微系統(tǒng)扼菠。隨著現(xiàn)代信息技術的三大核心技術之一摄杂，傳感器技術，將是第二十一個世紀人們在科學和技術發(fā)展的制高點循榆。因此匙姜，我們必須重視發(fā)展傳感器技術畅厢，加快產業(yè)化進程。
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