概述：

　　EH 機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)淋叶，仍是歡迎的泵阎曹，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合煞檩。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)处嫌。

　　機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下斟湃，因此高度可靠熏迹。

愛(ài)德華羅茨真空泵EH1200的應(yīng)用：

　　半導(dǎo)體制程、真空蒸餾凝赛、真空包裝挫勿、鋼脫氣、薄膜覆層箕但、真空冶金订岗、低密度風(fēng)洞、空間模擬饰逝、真空浸漬囊骆、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥文浆、CO2 激光筏匪。

功能和優(yōu)勢(shì)：

　　適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過(guò) 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合升价。

　　它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性慢俄。

　　EH 泵具有高質(zhì)量的無(wú)油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

　　安靜的無(wú)振動(dòng)運(yùn)行窄悍。

　　牢靠且防腐蝕妄结。

　　的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染

　　防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造屯远。

　　經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子蔓姚，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門(mén)，因此可將維護(hù)要求降到較低慨丐。

　　軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化坡脐，可確保潤(rùn)滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能房揭。此外备闲，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

　　動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)捅暴、運(yùn)行噪音小恬砂，而這些特點(diǎn)正是技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的咧纠。

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