超純水制造歷史進程：
階段：預處理過濾器——>陽床——>陰床——>混合床
第二階段：預處理過濾器——>反滲透——>混合床
目前階段：預處理過濾器——>反滲透——>EDI（無需酸堿）
階段：預處理過濾器——>陽床——>陰床——>混合床
第二階段：預處理過濾器——>反滲透——>混合床
目前階段：預處理過濾器——>反滲透——>EDI（無需酸堿）
應用領(lǐng)域：
1溶瞬、 醫(yī)藥叛榆、制藥喂惜、血液透析用水；
2码遥、 半導體材料服半、器件、印刷電路板和集成電路成品班粥、半成品滤灸；
3、 超純材料和超純化學試劑扳九；
4尝鬓、 實驗室和中試車間；
5玖瘸、 汽車、家電表面拋光處理檀咙；
6雅倒、 光電子產(chǎn)品；
7弧可、 微電子產(chǎn)品蔑匣、顯象管制造業(yè)；
8棕诵、 蓄電池裁良、鋰電池、太陽能電池校套、干電池价脾；
9、 其他高科技精微產(chǎn)品笛匙；
出水水質(zhì)：
符合美國ASTM標準侨把、符合中國電子部超純水水質(zhì)標準
（18MΩ.cm、15MΩ.cm妹孙、10MΩ.cm秋柄、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm）
規(guī)格參數(shù)：
| 項目 型號 | EDI-6 | EDI-11 | EDI-23 | EDI-34 | EDI-45 | EDI-68 |
| 水量（m3/h） | 6 | 11 | 23 | 34 | 45 | 68 |
| 膜組數(shù)目 | 1-2 | 2-4 | 4-8 | 6-12 | 8-16 | 12-24 |
| 管徑 | 1.5" | 2" | 3" | 4" | 4" | 6" |
| 配管材料 | SCH#80/UPVC管 | |||||
| 外形尺寸W*D*H | 198*107*183 | 137*234*213 | 315*151*213 | 174*404*213 | 183*251*334 | 213*259*425 |
| 產(chǎn)水水質(zhì) | ≥10-15MQ.cm | |||||
| 回收率 | 90-95% | |||||
| 進水要求 | | |||||
| TEA（含CO2） | ＜25mg/L as CaCO3 | PH | 5-9 | |||
| 硬度 | ＜1mg/L as CaCO3 | 硅 | ＜0.5mg/L | |||
| TOC | ＜0.5mg/L | 進水壓力 | 30-100PSI | |||
| 溫度 | 5-43°C | 余氯 | ＜0.05mg/L | |||
| Fe ,Mn,H2S | ＜0.01mg/L | |||||
